Warum goldbeschichtete Reflektoren für Ihre Wafer wirklich wichtig sind
Im Bereich der Halbleiterverarbeitung bedeutet Energieverlust im Grunde genommen, Geld zu verschwenden. Dadurch sinkt die Produktivität. Deshalb verwenden wir bei unseren IR-Lampen goldbeschichtete Reflektoren. Anstatt dass die Wärme nach hinten entweicht, wird sie genau dorthin geleitet, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Oberfläche des Wafers.
Das Problem mit Aluminium
Die meisten Menschen starten mit Aluminium als Material für Reflektoren. Doch das hat einen Haken: Aluminium eignet sich nicht für den Einsatz bei langwelligen und mittelwelligen IR-Strahlen. Es absorbiert einfach zu viel Energie.
Gold hingegen
Wir verwenden eine dünne Schicht Gold, denn dieses reflektiert die Energie viel effizienter zurück. Dadurch kommt mehr Energie auf den Wafer, während weniger Energie dazu führt, dass das Gehäuse der Maschine überhitzt. Im Grunde verwandelt das Gold eine gewöhnliche Lampe in ein präzises Heizelement.
Achtung auf die Leistungsdichte
Beim Kauf dieser Lampen muss man besonders auf das Verhältnis von Leistung zu Oberflächenfläche achten. Hochleistungs-Lampen bringen eine enorme Menge an Energie in einen kleinen Raum. Das führt zu einer starken Überhitzung. Wenn das Kühlsystem der Maschine mit der entstehenden Wärme nicht zurechtkommt, entstehen Probleme. Wir haben bereits erlebt, dass Lampensockel und Leitungen durch die Hitze beschädigt wurden, weil die Wärme nirgendwo anders hinkonnte.
Die richtige Platzierung in der Maschine
Diese Lampen sollen einfach als Ersatz für die aktuellen IR-Lampen verwendet werden. Doch der entscheidende Faktor ist der Fokuspunkt. Wir legen großen Wert darauf, dass die Wärme gleichmäßig über die gesamte Fläche des Wafers verteilt wird. Wenn die Lampe auch nur ein paar Millimeter verschoben wird, entstehen Hotspots. Und Hotspots ruinieren alles.
Noch eine wichtige Hinweis: Tragen Sie bitte Handschuhe!
Goldbeschichtungen sind äußerst empfindlich. Wenn ein Techniker den Reflektor mit bloßen Händen berührt, brennen die Öle aus seiner Haut direkt ins Gold ein. Dadurch entsteht eine permanente dunkle Stelle. Diese Stelle reflektiert keine Energie mehr, sondern nimmt stattdessen Wärme auf. Dadurch wird die Lebensdauer der Lampe verkürzt und die thermische Gleichmäßigkeit beeinträchtigt. Halten Sie die Lampen sauber – tragen Sie Handschuhe. Es ist ein kleiner Schritt, der große Probleme verhindert.