웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

반도체 웨이퍼를 가열할 때의 문제점과 해결책 반도체 웨이퍼를 가열할 때는 에너지가 반드시 웨이퍼에만 도달해야 합니다. 장비의 외부나 케이싱에 에너지가 가って서는 안 됩니다. 문제는 일반적인 IR 램프들이 열을 360도로 모든 방향으로 방출한다는 점입니다. 공간이 좁은...