なぜファブは大きなオーブンを捨てて赤外線硬化法を採用するのか？ 正直に言えば、昔ながらの対流式オーブンというのはかなり面倒なものです。大きくて、処理時間も長く、要するに巨大な空間を温めるだけのものです。 「グリーン製造」や無鉛化の要求が高まる中、多くの人々が赤外線硬化法を採用しています。これは、熱を扱う方法として全く異なるアプローチです。
中間工程を省く 対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。空気を温めて、その空気がウェハを加熱します。これは非効率的です。さらに、クリーンルーム内でそんなに高温の空気を動かすと、微粒子の問題が生じます。 一方、赤外線硬化法は違います。まるで太陽の下にいるような感じです。エネルギーは直線的に移動し、直接基材に当たります。巨大なチャンバーや、空気が温まるのを待つ必要もありません。素早く処理できます。 また、無鉛のはんだやポリマーは繊細なので、単純に熱を与えるだけでは不十分です。過度に加熱すると、チップがダメになってしまいます。赤外線硬化法を使えば、波長を調整して、使用しているコーティングに最適な条件を実現できます。もう部品を過度に焼く心配はありません。
コストと環境を節約できる 最も良い点は、赤外線ランプは数秒で作動温度に達することです。 巨大なオーブンを何時間も稼働させておく必要がありません。そのおかげで、電気代が削減され、HVACシステムも余計な負担をかけずに済みます。これは、工場を運営する上でずっと良い方法です。
ただし、欠点もある ただし、すべてが完璧というわけではありません。高強度の赤外線は、狭い範囲に急速に多くの熱を与えます。 これは速い処理には役立ちますが、ウェハの処理装置にとっては大変です。ウェハを赤外線装置から出した後、すぐに冷却しなければ、ウェハが変形してしまいます。一度変形してしまうと、修正するのは非常に大変です。 私のアドバイスは、冷却工程を省略しないことです。加熱後すぐに強制送風による冷却を行いましょう。そうすれば、部品が安定し、平らな状態を保てます。それだけです。