Na výrobní hale stačí jediná kapka vody, aby zabila wafer. Standardní sušení zanechává tepelné gradienty, které zachycují vlhkost. To znamená, že...

Na výrobní lince je posun o 0,5°C během vypalování fotoresistu dostatečný k vyřazení velkého množství materiálu. Potřebujete teplo, které dopadne...