Bộ phận gia nhiệt hỗ trợ cắt tấm wafer bằng laser
Trên sàn sản xuất, quá trình cắt laser bằng wafer sẽ gặp sự cố khi ngân sách nhiệt của wafer bắt đầu dao động. Dư lượng photoresist, các vết nứt vi...
Đèn sưởi kiểm tra đốt cháy wafer
Trên dây chuyền, lò burn-in hoạt động liên tục. Các wafer xếp hàng chịu nhiệt ứng suất, sau đó chuyển tiếp. Nếu đèn sưởi chập chờn, toàn bộ trạm sẽ...
Chi phí đèn sưởi wafer hồng ngoại
Trên tầng photolithography, bạn không đo thời gian bằng phút—mà bằng sản lượng. Wafer được đưa vào track, lớp resist được phủ lên, và quá trình soft...