Ra ngoài sàn fab, một vết nước đơn lẻ đủ để làm hỏng một wafer. Việc làm khô tiêu chuẩn để lại các gradient nhiệt, và những gradient này giữ lại độ ẩm. Điều đó có nghĩa là độ bám dính của photoresist thất bại và năng suất bị ảnh hưởng. Chúng tôi đã phát triển bộ phát IR Halogen để loại bỏ sự biến đổi đó.
Những gì thực sự quan trọng bên trong Bộ phát dựa vào đèn halogen quartz sóng ngắn, cung cấp IR nhanh, theo đường thẳng. Trong khu vực được gia nhiệt, chúng tôi giữ độ đồng nhất nhiệt trong khoảng ±0.1°C, vì vậy mỗi die nhận được ngân sách nhiệt giống nhau. Hình dạng sợi đốt và gương phản xạ được điều chỉnh để đảm bảo tính lặp lại trong quá trình nướng mềm và nướng cứng, giữ cho các profile photoresist quan trọng ổn định, qua từng lần chạy. Sự phù hợp với phòng sạch đã được tính đến: vật liệu thải khí thấp, đầu nối kín, và bề mặt hoàn thiện giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không. Hệ thống hoạt động 24/7 với đầu ra ổn định, và tuổi thọ bóng đèn hỗ trợ hơn 5,000 giờ với sự trôi đầu ra tối thiểu.
Tại sao phương pháp này phù hợp với quy trình Việc làm khô wafer không chỉ đơn thuần là về nhiệt. Nó liên quan đến việc quản lý giao diện giữa nước, màng, và hình dạng. Profile IR làm khô wafer nhanh chóng mà không bị vượt quá, vì vậy photoresist vẫn nằm trong thông số kỹ thuật. Bạn có thời gian chu kỳ nhanh hơn mà không phải hy sinh kiểm soát đường dây, và cửa sổ quy trình thu hẹp lại—ít phải làm lại, ít lô phế liệu hơn. Kết nối IR trực tiếp giảm tiêu thụ năng lượng, và vì profile là lặp lại, bạn dành ít thời gian để điều chỉnh và nhiều thời gian để giao hàng.
Một vài ghi chú thực tiễn Bộ phát hoạt động tốt nhất với đường nhìn thẳng trực tiếp đến wafer, và cần có căn chỉnh quang học chính xác. Cường độ giảm theo khoảng cách bình phương, vì vậy khoảng cách làm việc phải được cố định và hiệu chỉnh. Bạn đang nhìn vào mật độ công suất cực đại cao hơn so với đối lưu, vì vậy hãy kết hợp nó với một giai đoạn ổn định nhiệt để tránh điểm nóng cục bộ. Việc tích hợp khá đơn giản, nhưng khối lượng nhiệt của đầu bóng đèn có nghĩa là bạn cần chú ý đến trình tự làm mát trong công cụ.