หยุดการแตกของท่อควอตซ์: รักษาความสะอาดของวีเฟอร์ด้วยหลอดไฟ IR ที่ไม่ปล่อยโอโซน
ในกระบวนการผลิตที่มีภาระหนัก การที่หลอดไฟแตกไม่ใช่เพียง “ข้อผิดพลาดทางเทคนิค” เท่านั้น แต่ยังเป็นปัญหาใหญ่อีกด้วย แค่มีรอยแตกเพียงเล็กน้อยในท่อควอตซ์ ก็จะทำให้เกิดเศษแก้วและสารเคมีตกลงมากระทบกับวีเฟอร์ และนั่นก็หมายความว่าวีเฟอร์ทั้งหมดจะเสียหายไป นี่เป็นข้อผิดพลาดที่สร้างความเสียหายอย่างมาก แต่สามารถหลีกเลี่ยงได้ หากออกแบบหลอดไฟให้ดีตั้งแต่แรก
ปัญหาเรื่องโอโซน
หลอดไฟคลื่นความยาวสั้นส่วนใหญ่จะปล่อยรังสีในช่วง 185 นาโนเมตร ปัญหาก็คือ รังสีเหล่านี้จะทำปฏิกิริยากับออกซิเจน จนเกิดโอโซนขึ้น ในกระบวนการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ โอโซนถือเป็นสิ่งที่ก่อให้เกิดการกัดกร่อนได้เลย เราจึงใช้ท่อควอตซ์ที่มีคุณภาพสูง เพื่อกรองรังสี UV ออกไป ทำให้อากาศมีความสงบ และป้องกันไม่ให้พื้นผิววีเฟอร์เกิดการออกซิไดซ์ ง่ายมากเลย
การรักษาท่อควอตซ์ให้แข็งแรง
การใช้หลอดไฟในระดับกำลังสูงจะสร้างความร้อนมหาศาลให้กับท่อควอตซ์ หากวัสดุไม่สามารถทนต่อความร้อนได้ ก็จะเกิดการบิดเบี้ยว และแตกได้ นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้ควอตซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูง วัสดุนี้จะไม่ขยายตัวหรือหดตัวมากเท่าวัสดุราคาถูก ดังนั้นจึงสามารถรักษาความแข็งแรงไว้ได้ แม้จะมีการใช้งานอย่างหนักก็ตาม
เคล็ดลับเพิ่มเติม: อย่าไว้ใจแค่ท่อควอตซ์เพียงอย่างเดียวเมื่อใช้งานในระดับกำลังสูง ควรมีการใช้ฝาครอบที่ทนทาน เพื่อป้องกันเศษแก้วไม่ให้ตกลงมากระทบกับวีเฟอร์ ถือเป็นการป้องกันความเสียหายไว้ล่วงหน้า
ระวังจุดยึดหลอดไฟ
หลอดไฟเหล่านี้สร้างความร้อนมาก และความร้อนนี้มักจะสะสมอยู่ที่จุดยึดหลอดไฟ นี่คือจุดที่หลายคนมักทำผิดพลาด หากจุดยึดหลอดไฟแน่นเกินไป ก็จะทำให้แก้วไม่สามารถขยายตัวได้ และจะแตกได้ ดังนั้นควรให้พื้นที่ว่างกับหลอดไฟบ้าง ใช้จุดยึดแบบลอยตัว และเว้นระยะห่างไว้บ้าง วิธีนี้จะช่วยป้องกันไม่ให้อุปกรณ์เสียหาย และช่วยให้กระบวนการผลิตดำเนินต่อไปได้