บนพื้นโรงงาน เครื่องหมายของน้ำเพียงหนึ่งจุดก็เพียงพอที่จะทำให้เวเฟอร์เสียหายได้ การอบแห้งตามมาตรฐานทิ้งความร้อนที่มีความแตกต่าง และความแตกต่างนั้นกักเก็บความชื้น ซึ่งหมายความว่าการยึดติดของฟิล์มฟอโต้เรซิสต์ล้มเหลว และผลผลิตลดลง เราได้สร้าง Halogen IR emitter เพื่อขจัดความแปรปรวนนี้ออกไปจากการผลิต
สิ่งที่สำคัญจริง ๆ ภายในเครื่อง Emitter ใช้หลอดควอตซ์ฮาโลเจนแบบคลื่นสั้น ส่งมอบ IR ที่รวดเร็วและตรงตามแนวสายตา ในโซนที่ให้ความร้อน เรารักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิภายใน ±0.1°C ดังนั้นทุกชิ้นส่วนจึงได้รับงบประมาณความร้อนที่เท่ากัน รูปร่างของฟิลาเมนต์และการสะท้อนถูกปรับให้เหมาะสมกับการทำซ้ำในขั้นตอนการอบแห้งแบบอ่อนและแข็ง เพื่อให้โปรไฟล์ฟอโต้เรซิสต์ที่สำคัญมีความเสถียรในการทำงานทุกครั้ง ความเหมาะสมในห้องสะอาดถูกบูรณาการไว้แล้ว: วัสดุที่ปล่อยก๊าซต่ำ การเชื่อมต่อที่ปิดสนิท และพื้นผิวที่ลดการเกิดอนุภาคเป็นศูนย์ ระบบทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วัน ด้วยการส่งออกที่เสถียร และอายุการใช้งานของหลอดสนับสนุนมากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเปลี่ยนแปลงการส่งออกน้อยที่สุด ทำไมวิธีนี้จึงเหมาะกับกระบวนการ การอบแห้งเวเฟอร์ไม่ได้เกี่ยวกับความร้อนเพียงอย่างเดียว แต่เกี่ยวกับการจัดการกับการสัมผัสระหว่างน้ำ ฟิล์ม และลวดลาย โปรไฟล์ IR ช่วยให้เวเฟอร์แห้งอย่างรวดเร็วโดยไม่เกินขอบเขต ดังนั้นฟอโต้เรซิสต์จึงอยู่ในสเปค คุณจะได้เวลาวนรอบที่เร็วขึ้นโดยไม่สูญเสียการควบคุมสายการผลิต และหน้าต่างของกระบวนการจะแคบลง—มีการทำซ้ำที่น้อยลง และมีล็อตที่เสียที่น้อยลง การจับคู่ IR ตรงช่วยลดการใช้พลังงาน และเนื่องจากโปรไฟล์นี้สามารถทำซ้ำได้ คุณจะใช้เวลาน้อยลงในการปรับแต่งและมีเวลามากขึ้นในการจัดส่ง หมายเหตุที่เป็นประโยชน์ Emitter ทำงานได้ดีที่สุดเมื่อมีการมองเห็นตรงไปยังเวเฟอร์ และต้องการการจัดตำแหน่งทางแสงที่แม่นยำ ความเข้มของแสงจะลดลงตามระยะทางกำลังสอง ดังนั้นช่องว่างการทำงานจึงต้องได้รับการปรับตั้งและสอบเทียบอย่างถูกต้อง คุณกำลังมองหาความหนาแน่นพลังงานสูงกว่าการถ่ายเทความร้อน ดังนั้นให้จับคู่กับเวทีที่มีความเสถียรในเรื่องความร้อนเพื่อหลีกเลี่ยงจุดร้อนในพื้นที่ การบูรณาการนั้นตรงไปตรงมา แต่มวลความร้อนของหัวหลอดหมายความว่าคุณต้องใส่ใจเกี่ยวกับลำดับการทำให้เย็นในเครื่องมือ