Как правильно использовать инфракрасные отражатели для высушивания вафер
При высушивании вафер необходим тепло – причем оно должно быть точечным. Нельзя просто направлять энергию на поверхность материала в надежде на хороший результат, особенно если нужно сохранить чистоту процесса и соблюсти экологические стандарты.
Поэтому мы используем лампы с коротковолновым излучением в сочетании с инфракрасными отражателями с высокой степенью отражения. Это совершенно иной подход по сравнению с конвекционной печью: вместо нагрева всей камеры, как в обычной тостерке, инфракрасное излучение направляется непосредственно на поверхность вафера.
Почему отражатель так важен
Сама по себе лампа для высушивания работает довольно неэффективно: она излучает энергию во все стороны – на 360 градусов. Без отражателя половина энергии тратится на нагрев самого корпуса устройства. Это явно не оптимальное использование электроэнергии.
Мы разрабатываем отражатели так, чтобы они перехватывали эту потраченную энергию и направляли её обратно на вафер. Это позволяет увеличить интенсивность теплового излучения и сократить время высушивания. Вы достигаете желаемой температуры быстрее, что означает меньшее потребление энергии на единицу продукции. Просто как будто.
Детали: материалы и тепло
Мы используем поверхности из высокочистого алюминия или покрытые золотом, потому что они лучше всего отражают коротковолновое инфракрасное излучение.
Но геометрия отражателя должна быть идеальной. Если изгиб отражателя будет отличаться даже на несколько миллиметров, возникнут точки повышенной температуры. Это приведет к неравномерному высушиванию вафер или, что еще хуже, к искажению их формы.
Также необходимо учитывать допуски при производстве отражателей. Эти лампы становятся очень горячими. Если отражатель плохо продувается или не может справиться с тепловым расширением, он может деформироваться. В таком случае фокусировка излучения изменится, что приведет к снижению качества продукции.
Переход на безоловое оборудование: плюсы и минусы
Переход на инфракрасное оборудование для высушивания – это отличное решение. Можно отказаться от использования растворителей и других веществ, содержащих свинец. Это чистый и безопасный процесс. Достаточно лишь включить лампу, и сразу же появляется тепло без каких-либо выбросов.
Но это не волшебство. Есть свои недостатки. Инфракрасное излучение имеет точечное действие, но не обеспечивает такой равномерности нагрева, как в конвекционной печи. Необходимо тщательно настраивать расстояние между лампой и вафером, а также угол наклона отражателя, чтобы избежать перегрева краев ваферов.
Если увеличить мощность лампы слишком сильно, не скорректировав при этом фокусировку, это приведет к локальному перегреву. Нужно проявить немного терпения, чтобы все было идеально.