Como escolher os refletores de IR adequados para a cura de wafers
Quando se trata da cura de wafers, é necessário utilizar calor – e esse calor precisa ser aplicado de maneira precisa. Mas não basta simplesmente aplicar energia ao substrato, esperando pelo melhor resultado, especialmente se o objetivo for manter tudo limpo e ambientalmente sustentável.
Por isso, optamos por lâmpadas de ondas curtas, combinadas com refletores de IR de alta reflexividade. Isso é completamente diferente de um forno de convecção: em vez de aquecer todo o espaço interno do forno, como acontece em um torradeiro gigante, o IR atinge diretamente a superfície do wafer.
Por que o refletor é tão importante?
Uma lâmpada de cura, por si só, é bastante ineficiente. Ela emite energia em todas as direções – 360 graus. Sem um refletor, você acaba gastando metade da energia para aquecer a estrutura do equipamento. Não é uma maneira eficiente de usar eletricidade.
Nós projetamos nossos refletores para capturar essa energia desperdiçada e direcioná-la de volta ao wafer. Isso aumenta a densidade de calor e reduz o tempo necessário para atingir a temperatura desejada. Assim, menos energia é necessária por wafer. É bem simples.
Detalhes importantes: materiais e calor
Usamos superfícies de alumínio de alta pureza ou revestidas com ouro, pois elas são as melhores para refletir as ondas IR de curta distância.
Mas a geometria do refletor precisa ser precisa. Se a curvatura estiver incorreta, mesmo que seja de poucos milímetros, haverá pontos quentes. Isso pode causar problemas na cura do wafer, ou até mesmo deformá-lo.
Além disso, é preciso ter cuidado com as tolerâncias. Essas lâmpadas ficam extremamente quentes. Se o refletor não tiver um bom sistema de ventilação ou não conseguir lidar com a expansão térmica, ele se deformará. Quando isso acontece, o ponto focal muda, e a qualidade do processo de cura piora.
Trocar por métodos sem chumbo (e os custos)
Mudar para o uso de IR para a cura de wafers é uma ótima solução. Você pode abandonar o uso de solventes e dos meios térmicos que contêm chumbo. É um processo limpo e sem emissões. Basta ligar a lâmpada para obter calor imediato, sem nenhuma emissão de poluentes.
Mas não é mágica. Há alguns custos envolvidos. O IR é altamente preciso, mas não oferece a uniformidade que se obtém com fornos de ar forçado. É preciso ajustar a distância entre a lâmpada e o wafer, bem como o ângulo do refletor, para evitar que as bordas do wafer sejam danificadas.
Apenas um aviso: se você aumentar demais a potência da lâmpada sem ajustar a distância focal, isso causará superaquecimento localizado. É preciso algum habilidade para conseguir um resultado perfeito.