Parando a perda de energia nas fases de enxágue
Sejamos honestos: aquecer volumes inteiros de ar só para secar um wafer é um desperdício. É como aquecer toda a casa só para aquecer uma única xícara de café. A maioria dos sistemas convencionais de aquecimento acaba desperdiçando energia no ambiente.
É por isso que optamos por lâmpadas infravermelhas à prova d’água. Em vez de aquecer o ar, essas lâmpadas atingem diretamente a superfície do wafer. É uma maneira muito mais eficiente de gerar calor.
Reduzindo a emissão de carbono (e as despesas)
Se você quer alcançar os objetivos relacionados a fábricas “verdes”, precisa saber onde a energia está sendo desperdiçada. Os fornos tradicionais perdem calor por toda parte. Ao concentrar a energia exatamente onde ela é necessária, você reduz o consumo total de quilowatt-horas por wafer.
Além disso, não é preciso esperar muito tempo até que o sistema funcione corretamente, nem desperdiçar energia enquanto ele está parado. É uma solução eficiente. Sua pegada de carbono diminui, e sua eficiência aumenta. É uma situação vantajosa para todos.
Lidando com a sujeira
As fases de enxágue são bastante desafiadoras. Há alta umidade, vapores químicos e umidade em todo lugar. Se você usar tubos de quartzo comuns, eles vão se danificar ou oxidar. Para evitar isso, usamos lâmpadas envoltas em invólucros especiais à prova d’água, com terminais resistentes à umidade. Assim, não há risco de danos causados pela água, e as lâmpadas funcionam de maneira confiável.
Dependendo das substâncias químicas utilizadas, geralmente usamos lâmpadas de ondas curtas ou médias. As ondas curtas são ótimas, pois permitem que o calor penetre mais rapidamente nas camadas de umidade, fazendo com que os wafers sequem em menos tempo.
Os desafios
Mas isso não é algo simples de resolver. As lâmpadas de alta densidade geram muito calor localizado. Se você não configurar corretamente os ventiladores de resfriamento, vai ter problemas. Você não quer que os sensores do processo funcionem mal só porque o invólucro da lâmpada está muito quente.
Dica rápida: Use um controlador PID de circuito fechado. Isso mantém tudo estável, evitando que os wafers sejam danificados.
Além disso, certifique-se de que a fonte de alimentação seja estável. Picos de tensão podem danificar o invólucro de quartzo, o que é um problema que ninguém quer enfrentar. Mas, uma vez que a instalação elétrica e o sistema de resfriamento estejam corretos, essa solução é eficiente e confiável.