सेमी-रिन्स चरणों में ऊर्जा के नुकसान को रोकना
ईमानदारी से कहें तो, केवल वेफरों को सुखाने हेतु पूरे वायुमंडल को गर्म करना बेकार है। यह तो ऐसा ही है, जैसे कि केवल एक कप कॉफी को गर्म करने हेतु पूरे घर को गर्म किया जाए। पुरानी प्रकार की कन्वेक्शन/रेजिस्टिव सिस्टमों में ऊर्जा बेकार ही बर्बाद हो जाती है।
इसीलिए हमने वॉटरप्रूफ इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया। ऐसे लैंप हवा को गर्म करने के बजाय सीधे वेफर की सतह को गर्म करते हैं। यह ऊष्मा प्रबंधन हेतु बेहतरीन तरीका है।
कार्बन उत्सर्जन एवं बिजली की बचत
यदि आप “ग्रीन फैक्ट्री” के लक्ष्यों को हासिल करना चाहते हैं, तो आपको यह जानना आवश्यक है कि ऊर्जा वास्तव में कहाँ जा रही है। पारंपरिक ओवनों में ऊर्जा हर जगह बर्बाद हो जाती है। ऊर्जा को सीधे उस जगह पर ही उपयोग में लाने से, प्रति वेफर खर्च होने वाली ऊर्जा में कमी आ जाती है।
इसके अलावा, आपको सिस्टम के ठीक से काम करने हेतु लंबे समय तक इंतजार नहीं करना पड़ता। ऐसे में आपका कार्बन उत्सर्जन कम हो जाता है, एवं दक्षता भी बढ़ जाती है। यह तो एक बेहतरीन विकल्प है।
गंदगी से निपटना
रिन्सिंग चरणों में बहुत ही गंदगी होती है – उच्च आर्द्रता, रासायनिक वाष्पें, आदि। यदि ऐसी स्थिति में सामान्य क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग किया जाए, तो वे खराब हो जाएंगे।
ऐसी स्थितियों से बचने हेतु, हम इन लैंपों को विशेष वॉटरप्रूफ कवरों में रखते हैं। ऐसे में पानी अंदर नहीं जा पाता, एवं लैंप भी जल्दी खराब नहीं होते। यह तो विश्वसनीय ऊष्मा प्रदान करने का तरीका है।
आप जिन रासायनिक पदार्थों का उपयोग कर रहे हैं, उसके आधार पर हम शॉर्ट-वेव या मीडियम-वेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं। शॉर्ट-वेव लैंप बेहतर हैं, क्योंकि ये आर्द्रता की परतों को जल्दी ही पार कर जाते हैं; इससे वेफर जल्दी ही सूख जाते हैं।
चुनौतियाँ
यह तो ऐसी स्थिति नहीं है, जिसमें बस लैंप को चालू करके भूल जाया जा सके। उच्च-घनत्व वाले इन्फ्रारेड लैंपों से बहुत ही अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है। यदि आप ठीक से कूलिंग फैनों एवं हीट सिंकों का उपयोग न करें, तो समस्याएँ हो सकती हैं। आप नहीं चाहेंगे कि लैंप के कवर बहुत गर्म होने के कारण प्रक्रिया संबंधी सेंसर खराब हो जाएं।
एक अच्छी बात यह है कि बंद-लूप PID कंट्रोलर का उपयोग करें। ऐसा करने से सब कुछ स्थिर रहता है, एवं वेफर खराब नहीं होते।
साथ ही, यह भी सुनिश्चित करें कि आपकी बिजली आपूर्ति स्थिर रहे। वोल्टेज में उतार-चढ़ाव से क्वार्ट्ज ट्यूब खराब हो सकती है… लेकिन एक बार जब वायरिंग एवं कूलिंग सिस्टम ठीक हो जाएं, तो यह तो उन पुराने हीटिंग ब्लॉकों का बेहतर विकल्प है।