लिथोग्राफी प्रक्रिया में, इंटरपोज़र को गर्म करते समय 0.1°C का भी अंतर, महत्वपूर्ण आयामों पर नकारात्मक प्रभाव डाल सकता है; इससे फोटोरेसिस्ट बर्बाद हो जाता है। अधिक ऊर्जा का उपयोग हल नहीं है। वास्तव में, ऐसी ऊर्जा की आवश्यकता है जिसे नियंत्रित किया जा सके, एवं जिस पर हर बार भरोसा किया जा सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इंटरपोज़र को गर्म करने हेतु इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया है; ये लैंप क्वार्ट्ज आवरण में हैं, एवं इनका डिज़ाइन तेज़ एवं सटीक ऊर्जा स्थानांतरण हेतु किया गया है। लैंप की अधिकतम शक्ति, टूल के आवरण के अनुरूप है; इससे इंटरपोज़र की सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। इस डिज़ाइन के कारण तापीय विलंब कम रहता है, इसलिए सेटपॉइंट में बदलाव बिना किसी अतिरिक्त प्रभाव के ही होता है।**
वेफर-स्तरीय प्रसंस्करण में इसका क्या महत्व है?
“बेकिंग” प्रक्रिया में समय सीमा बहुत कम होती है। यह लैंप, फोटोरेसिस्ट को आवश्यक तापमान पर गर्म करने में मदद करता है; इसके अलावा, इसका डिज़ाइन ऐसा है कि विभिन्न चरणों में भी तापमान स्थिर रहता है। क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों का पालन भी सामग्री एवं वायुप्रवाह व्यवस्था के कारण संभव है; इससे कणों की संख्या कम रहती है।
ऊर्जा उपयोग में क्या बचत होती है?
चूँकि यह लैंप बिजली को कुशलतापूर्वक विकिरण ऊर्जा में बदल देता है, इसलिए ऊर्जा उपयोग कम रहता है। इसके अलावा, इसका थर्मल मास कम होने के कारण निष्क्रिय अवस्था में भी ऊर्जा खपत कम रहती है। लैंप 24/7 कार्य करता रहता है, इसलिए उपकरणों में अचानक खराबी नहीं आती।**
व्यावहारिक विवरण:
स्थापना के दौरान टूल की थर्मल क्षमता एवं दृश्य क्षेत्र का ध्यान रखना आवश्यक है। जब लैंप, इंटरपोज़र के मार्ग के अनुरूप होता है, एवं निर्धारित सेंसर/कंट्रोलर के साथ जुड़ा होता है, तब ही अधिकतम प्रदर्शन प्राप्त होता है। PID सेटिंगों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।
एक बार समायोजन हो जाने के बाद, प्रक्रिया दोहराई जा सकती है। लेकिन शुरुआती सेटअप ही वह चरण है, जिससे आवश्यक स्थिरता प्राप्त होती है।