वेफरों को सही तरीके से सुखाने हेतु IR रिफ्लेक्टरों का उपयोग
जब वेफरों को सुखाया जाता है, तो ऊष्मा की आवश्यकता होती है… और यह ऊष्मा अत्यधिक सटीक होनी चाहिए। लेकिन आप बस ऊर्जा को सीधे सब्सट्रेट पर डालकर अच्छे परिणामों की उम्मीद नहीं कर सकते… खासकर तब, जब आप चीजों को स्वच्छ एवं पर्यावरण-अनुकूल रखना चाहते हैं।
इसीलिए हम उच्च-परावर्तनक्षमता वाले IR रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। यह तो कन्वेक्शन ओवन से बिल्कुल अलग है… कन्वेक्शन ओवन में तो पूरा कमरा ही गर्म हो जाता है… जबकि IR तो सीधे वेफर की सतह पर ही ऊष्मा पहुँचाता है।
रिफ्लेक्टर क्यों महत्वपूर्ण है?
दरअसल, केवल क्यूरिंग लैंप ही पर्याप्त नहीं है… यह ऊर्जा को हर दिशा में ही फैला देता है… 360 डिग्री में। रिफ्लेक्टर के बिना, आप अपनी ऊर्जा का आधा हिस्सा मशीन के फ्रेम को गर्म करने में ही खर्च कर रहे हैं… यह तो बिजली का दुरुपयोग ही है।
हम अपने रिफ्लेक्टरों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं कि वे व्यर्थ बर्बाद होने वाली ऊर्जा को पकड़कर उसे वापस वेफर पर ही भेज दें… इससे ऊष्मा की मात्रा बढ़ जाती है, एवं सुखाने में लगने वाला समय कम हो जाता है… इससे प्रति वेफर पर खर्च होने वाली ऊर्जा भी कम हो जाती है।
सामग्री एवं ऊष्मा
हम उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिनियम या सोने से ढकी हुई सतहों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ये ही शॉर्टवेव IR को परावर्तित करने में सबसे अच्छी हैं।
लेकिन इन सतहों की आकृति भी बिल्कुल सटीक होनी चाहिए… अगर यह थोड़ा भी विकृत हो जाए, तो वेफर पर असमान गर्मी पड़ेगी… यह तो बहुत ही खराब स्थिति है… ऐसी स्थिति में वेफर ठीक से सुख नहीं पाएगा।
आपको तो त्रुटियों का भी ध्यान रखना होगा… ये लैंप बहुत ही गर्म हो जाते हैं… अगर रिफ्लेक्टर में उचित वेंटिलेशन न हो, या वह ऊष्मा के कारण विकृत न हो, तो फोकल बिंदु भी बदल जाएगा… ऐसी स्थिति में उत्पादन में कमी आ जाएगी।
लीड-फ्री विधि – एवं इसके नुकसान
IR विधि का उपयोग करने से बहुत फायदा होता है… आप घोल-आधारित तापन विधियों एवं लीड युक्त तापन माध्यमों का उपयोग नहीं करना पड़ता… यह तो एक स्वच्छ एवं सूखी प्रक्रिया है… आप बस स्विच दबाते हैं, और तुरंत ही ऊष्मा प्राप्त हो जाती है… बिना किसी उत्सर्जन के।
लेकिन यह कोई जादू नहीं है… इसमें भी कुछ नुकसान हैं…
IR विधि तो बहुत ही सटीक है… लेकिन इसमें फोर्स्ड-एयर ओवन जैसी एकसमान ऊष्मा प्राप्त नहीं होती… आपको लैंप एवं वेफर के बीच की दूरी, एवं रिफ्लेक्टर के कोण को संशोधित करना ही होगा… ताकि वेफर के किनारे जल न जाएँ।
सावधान रहें… अगर आप फोकल लंबाई को समायोजित किए बिना ही वॉटेज को बहुत अधिक कर दें, तो वेफर पर अत्यधिक गर्मी पड़ेगी… इसे सही तरीके से करने हेतु थोड़ी सावधानी आवश्यक है।