Arrêtez d’attendre que les chariots de la salle propre se réchauffent
Si vous avez déjà travaillé dans le domaine du traitement avancé des semi-conducteurs, vous connaissez bien cette frustration liée à l’attente. Il y a des wafer ou des supports qui doivent atteindre une température spécifique avant de pouvoir passer à l’étape suivante. Mais c’est justement lors du transport que tout ralentit.
La plupart des usines que je visite utilisent encore un système de circulation d’air chaud. C’est une méthode dépassée. Le problème, c’est que l’air chaud met du temps à se répandre dans l’espace concerné. En fait, on perd du temps inutilement.
Voici la solution : l’éclairage infrarouge
L’éclairage infrarouge ne passe pas par l’air. Il envoie directement de l’énergie à la surface du support à chauffer. Imaginez la différence entre essayer de se réchauffer en restant dans une pièce chaude, et en tenant ses mains juste devant un feu de camp. C’est exactement ce qui se passe avec les chariots de la salle propre : la chaleur atteint immédiatement le support à chauffer. On ne perd plus de temps à chauffer toute la pièce juste pour réchauffer quelques wafer.
Si votre processus nécessite une température de 100°C, l’éclairage infrarouge permet d’y arriver en quelques secondes. Ainsi, la période d’attente devient insignifiante.
Comment ça marche concrètement ?
Pour que cela fonctionne, nous intégrons des émetteurs infrarouges à ondes courtes ou moyennes directement dans le cadre du chariot. Nous maintenons une densité énergétique élevée afin que l’ensemble du système ne occupe pas trop de place.
Il faut aussi faire attention : l’éclairage infrarouge agit très rapidement. Par conséquent, il est nécessaire d’avoir un système de contrôle PID précis, ainsi que des capteurs placés très près du support à chauffer. Sinon, on risque de dépasser la température souhaitée avant même que le système ne s’en rende compte.
Pour le matériel, nous utilisons des éléments en quartz. Ils sont parfaits pour les salles propres, car ils ne libèrent aucune particule ni aucun gaz dans l’environnement.
Les limites
L’éclairage infrarouge n’est pas une solution miracle pour tout. Il ne fonctionne que en ligne droite. Si le chariot est rempli de supports, ceux situés à l’avant seront bien chauffés, tandis que ceux du milieu resteront froids. On ne peut pas simplement remplacer un ventilateur par une lampe pour résoudre le problème. Il faut savoir où placer les lampes. Parfois, il faut utiliser des surfaces réfléchissantes pour diriger la chaleur vers ces zones peu chauffées. Sinon, certains wafer seront parfaits, tandis que d’autres resteront à peine tièdes.