Secar las obleas de MEMS sin complicaciones
Si alguna vez has trabajado con obleas de sensores MEMS, sabes bien las dificultades que conlleva esto. Un pequeño punto de agua o demasiada presión mecánica durante el proceso de secado pueden arruinar todo el lote. Se necesita calor, pero debe ser administrado de manera precisa.
Por eso, optamos por usar luz infrarroja de onda corta. En lugar de perder tiempo calentando todo el aire en la cámara, la luz infrarroja transfiere energía directamente sobre la superficie de la oblea. Es un método más eficiente y rápido.
Hacer que el hardware sea “inteligente”
En una fábrica moderna, no nos limitamos a encender un interruptor y esperar lo mejor. Conectamos los arrays de luz infrarroja a un sistema digital. La ventaja de estos sistemas es que reaccionan rápidamente: se calientan y enfrían casi al instante. Gracias a esta velocidad, podemos saber exactamente cómo se distribuye el calor en la oblea en tiempo real. Esta información va directamente al PLC, de modo que cada sensor en la oblea se seca al mismo ritmo. Sin necesidad de adivinar.
El equilibrio difícil
Sin embargo, hay un problema: para lograr la densidad de calor necesaria, suele ser necesario utilizar lámparas de cuarzo de alta potencia. Pero cuando se concentra tanta energía en un espacio reducido, las cosas se calientan rápidamente. Si queremos alcanzar los objetivos de secado, el sistema de refrigeración debe ser excelente para manejar el calor generado. Si la refrigeración falla, las obleas se deforman, lo cual es un desastre que nadie quiere.
Dejar atrás los métodos antiguos
También hemos dejado de usar esos relés antiguos y voluminosos. Ahora utilizamos controladores de modulación de ancho de pulso para gestionar la energía. Esto nos permite tener un control preciso y lineal. Si cambia el grosor de la oblea, basta con ajustar los parámetros en el software. No es necesario cambiar el hardware cada vez que cambia el proyecto. Es mucho mejor que los métodos antiguos de convección, que eran lentos y no proporcionaban información sobre lo que realmente ocurría en el interior de las obleas.
Al final, la luz infrarroja directa es la mejor opción. Los ciclos de secado se acortan, el equipo ocupa menos espacio y las obleas quedan más limpias. Todo esto ayuda a mantener la línea de producción en funcionamiento.