Deje de esperar a que los carros de la sala limpia se calienten
Si ha trabajado en el procesamiento avanzado de semiconductores, seguramente conoce bien la frustración que supone tener que esperar. Hay obleas o soportes que necesitan alcanzar una temperatura específica antes de poder pasar al siguiente paso del proceso. Pero es precisamente durante el transporte cuando todo se ralentiza.
La mayoría de las plantas que visito todavía utilizan sistemas de circulación de aire caliente. Es el método tradicional. Pero aquí está el problema: el aire forzado funciona muy lentamente. En realidad, uno tiene que esperar a que el aire se caliente y luego esperar a que ese aire llegue hasta los objetos a calentar. Eso significa perder minutos valiosos.
Introducimos la tecnología infrarroja
La calefacción por infrarrojos no utiliza aire para transmitir calor. En lugar de eso, envía energía directamente a la superficie del objeto a calentar. Imagine la diferencia entre intentar calentar sus manos estando en una habitación caliente y ponerlas frente a una fogata. Eso es exactamente lo que ocurre con los carros de la sala limpia: el calor llega casi instantáneamente al objeto a calentar. Así, no se pierde energía calentando toda la habitación solo para calentar unas pocas obleas.
Si su proceso requiere que las obleas alcancen una temperatura de 100°C, la tecnología infrarroja lo logra en segundos. Convierte un período de espera aburrido en un proceso rápido.
Cómo lo construimos
Para que esto funcione, colocamos emisores de infrarrojos de onda corta o media dentro del marco del carro. Mantenemos alta la densidad de energía para que todo funcione sin ocupar demasiado espacio.
Un punto importante: la tecnología infrarroja reacciona muy rápidamente. Por eso, es necesario utilizar un sistema de control PID preciso y sensores colocados muy cerca del objeto a calentar. De lo contrario, podríamos superar la temperatura deseada antes de que el sistema se dé cuenta de que ya está demasiado caliente.
En cuanto al hardware, utilizamos elementos revestidos de cuarzo. Son ideales para las salas limpias, ya que no liberan partículas ni gases al ambiente.
Las limitaciones
La tecnología infrarroja no es una solución mágica para todo. Solo funciona en línea recta. Si el carro está lleno de soportes, aquellos que están en la parte delantera se calentarán rápidamente, mientras que los que están en el centro seguirán fríos. No basta con reemplazar el ventilador por una lámpara. Hay que pensar bien dónde colocar las lámparas. A veces, eso implica usar reflejadores para dirigir el calor hacia esas zonas donde no llega bien. De lo contrario, tendremos un lote en el que algunas obleas estarán perfectamente calientes y otras apenas lo estarán.