Hören Sie auf, auf Ihre Heizsysteme zu warten – warum UHP-Infrarotlampen besser sind als Heißluft
Wenn Sie im Bereich der Halbleiterfertigung arbeiten, wissen Sie, dass der größte Feind normalerweise nicht die Technologie selbst ist – sondern die Wartezeit. Genauer gesagt, diese lästige Wartezeit.
Jahrelang wurden Druckluftsysteme verwendet – doch es gibt ein Problem: die thermische Verzögerung. Im Grunde verlieren wir bei jedem Zyklus Minuten damit, darauf zu warten, bis alles warm wird. Deshalb haben wir auf Ultra-Hochreine (UHP)-Infrarotlampen umgestellt. Wir wollten diese Verzögerung durch die Nutzung von Strahlung statt von heißer Luft beseitigen.
Es geht um die Physik
Denken Sie darüber nach, wie Heißluft funktioniert: Zuerst muss die Luft erhitzt werden, anschließend heizt die Luft den Raum auf – und schließlich heizt der Raum wiederum die Wafer auf. Es handelt sich dabei um eine langsame Kettenreaktion.
UHP-Lampen funktionieren anders: Sie strahlen Kurzwellensignale aus, die direkt auf die Oberfläche treffen. So kann die Erwärmung in Sekunden erfolgen. Dadurch können Sie die Prozesszeiten verkürzen und mehr Produkte pro Zeiteinheit herstellen – ohne ständig auf den Lüfter starren zu müssen und darauf zu warten, dass die Temperatur stabilisiert wird.
Die Details bezüglich der Materialien
Da es hier um Reinräume geht, ist Verunreinigung ein großes Problem. Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz für diese Lampen – so müssen Sie sich keine Sorgen machen, dass Gase die Qualität der Produkte beeinträchtigen.
Aber Achtung: In einem sehr kleinen Raum wird viel Energie konzentriert. Wir bauen diese Lampen entsprechend Ihrer spezifischen Spannungs- und Leistungsanforderungen – aber denken Sie daran, dass diese konzentrierte Energie sehr intensiv ist. Wenn Ihre Kühlvorrichtung nicht ausreicht, können Probleme entstehen – wie beispielsweise beschädigte Komponenten oder ausgebrannte Lampenenden. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlung mit der erzeugten Hitze fertigwerden kann.
Was das tatsächlich für Ihren Betrieb bedeutet
Das Beste daran: Sie können auf die sperrigen Leitungen und lauten Lüfter verzichten. Die Abmessungen Ihrer Maschinen verringern sich – was immer ein Vorteil ist.
Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch: Anstatt einer langsamen Erwärmung durch Konvektionsheizungen nutzen Sie nun eine schnelle, kontrollierbare Erwärmung. Für alle Fabriken, die ihre Produktion steigern möchten, ist das die richtige Lösung.