http://indoor-ir-heat.com/zh/tags/tool/ Recent content in Tool on Efficient Indoor IR Heating Hugo zh Thu, 09 Jul 2026 03:43:05 +0800 http://indoor-ir-heat.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Thu, 09 Jul 2026 03:43:05 +0800 http://indoor-ir-heat.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://indoor-ir-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="晶圆加工设备用温度传感器"></p> <p>防止高负载晶圆处理设备出现灾难性故障<br> 有没有过这样的经历：一盏灯损坏后，整个生产批次就面临风险？在高负载的晶圆处理过程中，灯管损坏不仅会毁掉相关组件，还会让杂质进入处理舱内，从而导致整批晶圆报废。<br> 我们设计的红外线灯系统就是为了在问题发生之前就将其制止。这样，设备就能持续运转，晶圆也能保持清洁状态。</p>