停止浪费热量：更有效的干燥方式 如果您正在规划一座高效的制造工厂，那么您应该已经意识到，那种依靠热风来干燥物品的传统方法已经不再适用了。仔细查看与干燥过程相关的能耗账单后，您会发现其中存在大量的能源浪费。 解决这个问题的关键在于放弃对对流加热的依赖，转而使用定向红外加热技术。这样一来，热量就能被精...

如何让MEMS晶圆在干燥过程中保持干燥状态，而不会出现问题？ 如果您曾经处理过MEMS传感器晶圆，您就会明白其中的困难。哪怕只有一处水渍，或者在干燥过程中受到过大的机械压力，整个批次的产品都会受到影响。虽然需要加热，但必须精确控制加热的程度。 因此，我们选择使用短波红外线技术。与其浪费时间去加热整...

在生产车间，单个水迹足以毁掉一片晶圆。标准干燥会留下温度梯度，而这些梯度会捕获水分。这意味着光刻胶的附着力会下降，产量也会受到影响。我们开发了卤素红外发射器，以消除这种变异性。 实际重要的细节 该发射器依赖短波卤素石英灯，提供快速的直视红外线。在加热区域内，我们保持温度均匀性在±0.1°C以内，因...