Wafer on Efficient Indoor IR Heating

Khoảng cách an toàn khi làm nóng wafer

Mon, 27 Jul 2026 08:59:02 +0800

Hãy ngừng việc sử dụng phương pháp làm nóng bằng cách đốt cháy các bức tường trong buồng xử lý: Một cách tốt hơn để làm nóng các wafer
Khi bạn muốn làm nóng các wafer bán dẫn, điều quan trọng nhất là năng lượng được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer. Bạn không muốn năng lượng đó lan sang các bộ phận khác của máy móc.

Vấn đề là các đèn hồng ngoại thông thường tỏa nhiệt ra mọi hướng, 360 độ. Khi hoạt động trong không gian hẹp, các bức tường bên trong buồng xử lý sẽ hấp thụ toàn bộ nhiệt lượng dư thừa này. Điều này gây ra nhiều vấn đề. Trong trường hợp xấu nhất, các bộ phận kín của máy có thể bị hư hỏng, hoặc người vận hành có thể bị bỏng do bề mặt máy quá nóng.

Bộ phản quang dùng cho đèn sấy wafer

Wed, 22 Jul 2026 04:39:34 +0800

Lựa chọn bộ phản xạ sóng hồng ngoại phù hợp để sấy khô wafer
Khi sấy khô wafer, bạn cần nhiệt lượng – và nhiệt lượng đó cần được kiểm soát một cách chính xác. Nhưng bạn không thể chỉ dùng năng lượng để làm nóng bề mặt wafer một cách ngẫu nhiên; điều này đặc biệt quan trọng nếu bạn muốn đảm bảo quy trình sấy diễn ra một cách sạch sẽ và thân thiện với môi trường.

Máy sấy wafer cảm biến MEMS

Tue, 21 Jul 2026 04:06:24 +0800

Làm khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả, không gặp phải rắc rối
Nếu bạn từng làm việc với các tấm wafer cảm biến MEMS, chắc hẳn bạn hiểu rõ những khó khăn mà chúng mang lại. Chỉ cần có một chút nước dính trên bề mặt wafer, hoặc áp lực cơ học quá lớn trong quá trình sấy khô, thì toàn bộ lô sản phẩm sẽ bị hỏng. Bạn cần nhiệt độ cao để sấy khô wafer, nhưng phải kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác.

Cảm biến hồng ngoại độ chính xác dành cho wafer

Sun, 12 Jul 2026 10:02:25 +0800

Bảo vệ các đèn hồng ngoại khỏi môi trường hóa chất
Khi vệ sinh các tấm wafer, chúng ta thường phải tiếp xúc với những chất hóa học dễ bay hơi và có tính chất dễ cháy. Nếu thêm vào đó những chiếc đèn hồng ngoại có cường độ cao, thì đó chính là nguyên nhân gây ra thảm họa. Điều cuối cùng mà ai cũng muốn tránh chính là sự cố cháy nổ xảy ra trong quá trình sản xuất.

Bộ sưởi wafer tiết kiệm năng lượng

Sat, 11 Jul 2026 09:06:02 +0800

Ngăn chặn nguy cơ vỡ ống thủy tinh: Bảo vệ các tấm wafer khỏi những hậu quả nghiêm trọng
Trong môi trường sản xuất bán dẫn với công suất cao, việc ống thủy tinh bị vỡ không chỉ gây ra sự gián đoạn trong quá trình sản xuất, mà còn tạo ra một tình huống tồi tệ. Khi ống thủy tinh bị vỡ, nó không chỉ ngừng hoạt động, mà còn khiến các mảnh thủy tinh và chất hóa học rơi xuống bề mặt các tấm wafer. Điều này gây ra sự lộn xộn lớn. Chính vì vậy, chúng tôi thiết kế các thiết bị sưởi ấm sao cho có thể ngăn chặn nguy cơ này từ trước.

Cảm biến nhiệt độ dành cho dụng cụ xử lý wafer

Thu, 09 Jul 2026 03:43:05 +0800

Ngăn chặn những sự cố nghiêm trọng trong các thiết bị xử lý wafer có tải trọng cao
Đã bao giờ bạn gặp tình huống một bóng đèn hỏng, khiến toàn bộ quy trình xử lý bị ảnh hưởng chưa? Trong quá trình xử lý wafer với tải trọng cao, việc một bóng đèn hỏng không chỉ làm hỏng linh kiện, mà còn tạo ra các chất gây ô nhiễm trong buồng xử lý, khiến toàn bộ quy trình bị phá hủy.

Nhà máy sản xuất bộ sưởi dạng wafer công nghiệp

Fri, 03 Jul 2026 09:01:32 +0800

Trong quy trình sản xuất wafer, yếu tố quan trọng không chỉ là nhiệt độ mà còn là mức nhiệt tổng thể trong suốt quá trình xử lý. Nếu nhiệt độ tăng hoặc giảm 2°C, việc kiểm soát các thông số kỹ thuật sẽ trở nên khó khăn hơn; đồng thời, điều này cũng dẫn đến việc phải làm lại sản phẩm, gây lãng phí nguyên vật liệu và giảm hiệu suất sản xuất. Chúng tôi thiết kế các bộ sưởi công nghiệp dựa trên nguyên tắc này: duy trì độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C, từ lần xử lý này sang lần xử lý khác, trên toàn bộ số wafer được xử lý.

Đèn quang phổ hồng ngoại dùng cho wafer

Sun, 21 Jun 2026 06:27:47 +0800

Trong môi trường sản xuất, bạn sẽ nhanh chóng nhận ra rằng sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C cũng có thể khiến chất lượng lớp phim bảo vệ trên bề mặt wafer từ “đạt tiêu chuẩn” trở thành vô dụng. Các bóng đèn quartz hồng ngoại không chỉ là nguồn nhiệt mà còn đóng vai trò quan trọng trong việc kiểm soát nhiệt độ trong quy trình sản xuất. Chúng được thiết kế để duy trì độ ổn định nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, giúp các kích thước quan trọng vẫn nằm trong giới hạn cho phép.

Bộ phát hồng ngoại halogen cho việc sấy wafer

Fri, 05 Jun 2026 04:14:34 +0800

Ra ngoài sàn fab, một vết nước đơn lẻ đủ để làm hỏng một wafer. Việc làm khô tiêu chuẩn để lại các gradient nhiệt, và những gradient này giữ lại độ ẩm. Điều đó có nghĩa là độ bám dính của photoresist thất bại và năng suất bị ảnh hưởng. Chúng tôi đã phát triển bộ phát IR Halogen để loại bỏ sự biến đổi đó.

Những gì thực sự quan trọng bên trong Bộ phát dựa vào đèn halogen quartz sóng ngắn, cung cấp IR nhanh, theo đường thẳng. Trong khu vực được gia nhiệt, chúng tôi giữ độ đồng nhất nhiệt trong khoảng ±0.1°C, vì vậy mỗi die nhận được ngân sách nhiệt giống nhau. Hình dạng sợi đốt và gương phản xạ được điều chỉnh để đảm bảo tính lặp lại trong quá trình nướng mềm và nướng cứng, giữ cho các profile photoresist quan trọng ổn định, qua từng lần chạy. Sự phù hợp với phòng sạch đã được tính đến: vật liệu thải khí thấp, đầu nối kín, và bề mặt hoàn thiện giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không. Hệ thống hoạt động 24/7 với đầu ra ổn định, và tuổi thọ bóng đèn hỗ trợ hơn 5,000 giờ với sự trôi đầu ra tối thiểu.