Bóng đèn phát xạ hồng ngoại gần (NIR)

Trên sàn sản xuất, chỉ cần trôi nhiệt 0.5°C trong quá trình nướng photoresist cũng đủ gây hư hỏng hàng loạt. Cần nhiệt độ chính xác đúng vị trí quy...