Bộ gia nhiệt kính hiển vi lực nguyên tử (AFM)

Trên sàn sản xuất, Soft Bake và sấy wafer là những bước không cho phép sai lệch. Biến động 1°C có thể làm thay đổi kích thước quan trọng, và độ ẩm bị...