Bộ phát hồng ngoại halogen cho việc sấy wafer

Fri, 05 Jun 2026 04:14:34 +0800

Ra ngoài sàn fab, một vết nước đơn lẻ đủ để làm hỏng một wafer. Việc làm khô tiêu chuẩn để lại các gradient nhiệt, và những gradient này giữ lại độ ẩm. Điều đó có nghĩa là độ bám dính của photoresist thất bại và năng suất bị ảnh hưởng. Chúng tôi đã phát triển bộ phát IR Halogen để loại bỏ sự biến đổi đó.

Những gì thực sự quan trọng bên trong Bộ phát dựa vào đèn halogen quartz sóng ngắn, cung cấp IR nhanh, theo đường thẳng. Trong khu vực được gia nhiệt, chúng tôi giữ độ đồng nhất nhiệt trong khoảng ±0.1°C, vì vậy mỗi die nhận được ngân sách nhiệt giống nhau. Hình dạng sợi đốt và gương phản xạ được điều chỉnh để đảm bảo tính lặp lại trong quá trình nướng mềm và nướng cứng, giữ cho các profile photoresist quan trọng ổn định, qua từng lần chạy. Sự phù hợp với phòng sạch đã được tính đến: vật liệu thải khí thấp, đầu nối kín, và bề mặt hoàn thiện giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không. Hệ thống hoạt động 24/7 với đầu ra ổn định, và tuổi thọ bóng đèn hỗ trợ hơn 5,000 giờ với sự trôi đầu ra tối thiểu.

Halogen on Efficient Indoor IR Heating

Bộ phát hồng ngoại halogen cho việc sấy wafer