Bộ Phát on Efficient Indoor IR Heating

Đầu nối gốm dùng cho bộ phát tia hồng ngoại

Fri, 17 Jul 2026 07:31:39 +0800

Tại sao những chiếc nắp gốm nhỏ này lại quan trọng đến vậy?
Hãy cùng tìm hiểu về những chiếc nắp gốm được sử dụng trên các bộ phát ánh sáng hồng ngoại. Nhìn bề ngoài, chúng có vẻ chỉ là những chiếc nút đơn giản thôi. Nhưng thực ra, chúng chính là yếu tố duy nhất ngăn không cho sợi dây tóc wolfram bị cháy do dòng điện quá cao.

Bộ phát hồng ngoại halogen cho việc sấy wafer

Fri, 05 Jun 2026 04:14:34 +0800

Ra ngoài sàn fab, một vết nước đơn lẻ đủ để làm hỏng một wafer. Việc làm khô tiêu chuẩn để lại các gradient nhiệt, và những gradient này giữ lại độ ẩm. Điều đó có nghĩa là độ bám dính của photoresist thất bại và năng suất bị ảnh hưởng. Chúng tôi đã phát triển bộ phát IR Halogen để loại bỏ sự biến đổi đó.

Những gì thực sự quan trọng bên trong Bộ phát dựa vào đèn halogen quartz sóng ngắn, cung cấp IR nhanh, theo đường thẳng. Trong khu vực được gia nhiệt, chúng tôi giữ độ đồng nhất nhiệt trong khoảng ±0.1°C, vì vậy mỗi die nhận được ngân sách nhiệt giống nhau. Hình dạng sợi đốt và gương phản xạ được điều chỉnh để đảm bảo tính lặp lại trong quá trình nướng mềm và nướng cứng, giữ cho các profile photoresist quan trọng ổn định, qua từng lần chạy. Sự phù hợp với phòng sạch đã được tính đến: vật liệu thải khí thấp, đầu nối kín, và bề mặt hoàn thiện giữ cho việc phát sinh hạt ở mức không. Hệ thống hoạt động 24/7 với đầu ra ổn định, và tuổi thọ bóng đèn hỗ trợ hơn 5,000 giờ với sự trôi đầu ra tối thiểu.

Bóng đèn phát xạ hồng ngoại gần (NIR)

Tue, 02 Jun 2026 06:11:24 +0800

Trên sàn sản xuất, chỉ cần trôi nhiệt 0.5°C trong quá trình nướng photoresist cũng đủ gây hư hỏng hàng loạt. Cần nhiệt độ chính xác đúng vị trí quy định trên quy trình — lần chạy này đến lần chạy khác.
Điều quan trọng bên trong
Bóng phát xạ NIR của chúng tôi phát ra năng lượng sóng ngắn phản ứng nhanh và giữ phổ ổn định, nên chuyển đổi nhiệt độ nhanh và lặp lại được. Trên toàn bộ vùng nướng, độ đồng đều mức wafer duy trì ở ±0.1°C — loại kiểm soát này bảo vệ kích thước quan trọng trong quá trình lithography. Bóng phát xạ tương thích phòng sạch, thiết kế để giảm thiểu sinh hạt và giữ công suất ổn định sau hàng nghìn giờ hoạt động. Thực tế, điều này có nghĩa là giảm lãng phí ngân sách nhiệt, giảm lỗi, và chu kỳ sản xuất ổn định.
Lý do phù hợp với quy trình photoresist
Trong xử lý photoresist — soft bake và hard bake — ổn định nhiệt độ quyết định việc loại bỏ dung môi, độ bám dính và kiểm soát chiều rộng đường mạch. Nguồn NIR truyền nhiệt không tiếp xúc, giảm đường đi của ô nhiễm và giúp duy trì yêu cầu phòng sạch Class 1–100. Bạn có được profile nướng đồng nhất giữa các wafer, nâng cao tỷ lệ thành phẩm lần đầu và giảm công việc sửa lại. Năng lượng sử dụng tập trung và kiểm soát tốt, đồng thời giúp giảm chi phí tiện ích mà không làm chậm năng suất.
Điều cần chuẩn bị khi lắp đặt
Bóng phát xạ NIR cần hệ thống quản lý nhiệt đồng bộ — tản nhiệt, luồng khí và dung sai lắp đặt phải phù hợp với hình học thiết bị. Chúng tôi cung cấp đồ gá tương thích và hướng dẫn tích hợp, nhưng cần một khoảng thời gian hiệu chỉnh ngắn để điều chỉnh PID và xác nhận tính lặp lại của profile. Khi đã thiết lập xong, hệ thống hoạt động với yêu cầu bảo trì tối thiểu. Tuy nhiên, việc căn chỉnh và giữ vệ sinh là yếu tố quyết định duy trì hiệu suất ±0.1°C liên tục hàng ngày.