Oda duvarlarını ısıtmayı bırakın: Waferleri ısıtmanın daha iyi yolu
Yarı iletken waferleri ısıttığınızda, enerjinin doğrudan yüzeye gitmesini istersiniz. Enerjinin ekipmanın dış kısmına gitmesini istemezsiniz.
Sorun şu ki, standart Kızılötesi lambalar oldukça kaotik bir şekilde ısı yayıyorlar; 360 dereceye yayılıyorlar. Dar alanlarda çalışırken, bu iç duvarlar tüm bu atık ısıyı emiyor. Bu da büyük bir sorun oluşturuyor. Farkında olmadan, mühürlerin hasar görmesine veya daha kötüsü, makinenin dış yüzeyinin çok sıcak olması nedeniyle operatörlerin yanmasına neden olabilirsiniz.
Fiziği nasıl düzeltiyoruz?
Bunu, Kızılötesi teknolojisini yönlendirerek çözüyoruz. Sadece şeffaf kuvars kaplamalar kullanmak yerine, özel kaplamalar veya yansıtıcılar kullanarak kızılötesi enerjiyi tam olarak gereken yere, yani waferin üzerine yönlendiriyoruz. Böylece ışın daralıyor ve ısı, makinenin gövdesine sızmıyor.
Ancak mesafeyi doğru ayarlamanız gerekiyor. Lambanın gücü ile yansıtıcının odak noktası arasında bir denge kurulmalıdır. Lambayı çok yakına getirirseniz sıcak noktalar oluşur. Çok uzakta tutarsanız ise yönlendirme özelliği kaybolur ve ısı tekrar duvarlara sızar.
Tercihler… (Çünkü hiçbir şey mükemmel değildir.)
Yönlendirilmiş ısıtma bir sihirli çubuk değildir. Duvarlar serin kalsa bile, çok daha fazla ısı doğrudan wafer yüzeyine aktarılır. Bu yüzden PID kontrol cihazlarının bu hızlı ısı artışlarına ayak uydurabilmesi gerekir. Eğer soğutma sistemi bu yoğun ısıya uygun değilse, hedef sıcaklık aşılmış olur.
En iyi sonuçları elde etmek için altın kaplamalı yansıtıcılar kullanın. Bunlar kısa dalga boylarında mükemmel bir yansıtma özelliğine sahiptir ve ısının doğru yönde kalmasını sağlar.
Bir uyarı: Güç ne kadar yüksekse, hizalamaya o kadar dikkat etmeniz gerekir. Birkaç milimetrelik bir hata bile ısıyı waferden uzaklaştırıp iç bileşenlere yönlendirebilir. Ve bu, sadece bir kez yapabileceğiniz bir hatadır.