Lâmpada infravermelha para cura de poliimida

Tue, 09 Jun 2026 03:43:53 +0800

No chão de fábrica, a cura do poliimida não é apenas mais uma etapa térmica. É a linha divisória entre atingir a especificação e descartar o lote. Um desvio de 2°C no soft bake ou no hard bake compromete o controle da dimensão crítica e insere tensão residual diretamente na pilha de fotorresiste. Desenvolvemos a lâmpada infravermelha para operar dentro dessa restrição, não contra ela.

O que importa no funcionamento interno
A lâmpada utiliza infravermelho de onda curta para transferir energia diretamente ao poliimida, rapidamente, sem transformar o equipamento ao redor em uma fonte de calor. Na zona de cura, a uniformidade a nível de wafer se mantém em ±0,1°C, e o perfil se repete de disparo em disparo. O comportamento de sala limpa está incorporado nos materiais e no caminho do fluxo de ar, garantindo geração de partículas baixa o suficiente para pisos classe 1 a 100. O resultado é um orçamento térmico estável: solventes são removidos de forma limpa, o reticulamento permanece controlado e a tensão do filme se comporta de maneira previsível.

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Lâmpada infravermelha para cura de poliimida