Polyimide bakoven infraroodlamp

Tue, 09 Jun 2026 03:43:53 +0800

Op de productievloer is polyimide bake niet zomaar een thermische stap. Het is de scheidslijn tussen het halen van de specificaties en het afkeuren van de hele batch. Een afwijking van 2°C in soft bake of hard bake tast de kritieke dimensionale controle en de restspanning van het bakproces direct aan binnen de photoresist-laag. Wij hebben de infraroodlamp ontwikkeld om met deze beperking te werken, niet om ertegen te vechten.

Wat er onder de motorkap telt
De lamp maakt gebruik van kortgolvige infraroodstraling om energie snel en rechtstreeks in de polyimide te brengen, zonder dat de omliggende hardware als een verwarmingselement fungeert. Over de hele bakzone blijft de uniformiteit op wafer-niveau ±0,1°C, en het profiel is reproduceerbaar van shot tot shot. Gedrag in cleanroomomgevingen is meegenomen in de materiaalkeuze en het luchtstroomtraject, zodat de deeltjesgeneratie laag genoeg blijft voor Class 1–100 vloeren. Het resultaat is een stabiel thermisch budget: oplosmiddel komt schoon uit, crosslinking blijft onder controle en de spanning in de film is voorspelbaar.

Polyimide on Efficient Indoor IR Heating

Polyimide bakoven infraroodlamp