Kosten van infrarood wafer verwarmingslamp

Sun, 31 May 2026 04:55:55 +0800

Op de lithografievloer meet je de tijd niet in minuten, maar in opbrengst. De wafer gaat de track op, de resist wordt aangebracht, en die soft bake moet binnen een nauwkeurig venster landen om de linewidth-variatie binnen specificatie te houden. Eén bake-profiel dat afwijkt, één hotspot, en de lijn begint te verschuiven. Er is geen herkansing binnen het thermisch budget.

De kostenbespreking rond infrarode waferheaterlampen stopt nooit bij de inkooporder. Het gaat om de kosten van afgekeurde batches. De kosten van het continu nastreven van uniformiteit batch na batch. En de kosten van een lampstoring om 2 uur ’s nachts die de lijn stillegt. Als de lamp geen submillimeter thermische veldcontrole levert met reproduceerbare prestaties, vecht elke andere inspanning om kosten te beheersen in de fabriek tegen de stroom in.

Kosten on Efficient Indoor IR Heating

Kosten van infrarood wafer verwarmingslamp