http://indoor-ir-heat.com/ko/tags/%ED%95%A0%EB%A1%9C%EA%B2%90/ Recent content in 할로겐 on Efficient Indoor IR Heating Hugo ko Fri, 05 Jun 2026 04:14:33 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ko/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Fri, 05 Jun 2026 04:14:33 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ko/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://indoor-ir-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼 건조용 할로겐 IR 방출기"></p> <h1 id="공정-현장에서의-중요한-사실">공정 현장에서의 중요한 사실</h1> <p>하나의 물자국만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 표준 건조 방식은 열 기울기를 남기며, 이 기울기가 수분을 가두게 됩니다. 이는 포토레지스트 접착이 실패하고 수율이 저하된다는 것을 의미합니다. 우리는 이러한 변동성을 없애기 위해 할로겐 IR 방출기를 개발했습니다.</p>