http://indoor-ir-heat.com/ko/tags/%EC%98%A8%EB%8F%84/ Recent content in 온도 on Efficient Indoor IR Heating Hugo ko Thu, 09 Jul 2026 03:43:05 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Thu, 09 Jul 2026 03:43:05 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://indoor-ir-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼 가공 공정용 온도 센서"></p> <p>고부하 웨이퍼 가공 장비에서의 치명적인 고장을 방지하기 위해<br> 혹시 한 개의 램프가 고장 나면서 전체 작업물이 위험에 처한 적이 있나요? 고부하 웨이퍼 가공 과정에서 램프가 고장 나면, 단순히 해당 부품만 손상되는 것이 아니라, 챔버 내부에 오염물질이 생겨 전체 작업물이 망가질 수도 있습니다.<br> 저희는 이러한 문제를 사전에 방지하기 위해 적외선 램프 시스템을 개발했습니다. 그 덕분에 장비는 계속해서 정상적으로 작동하며, 웨이퍼도 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.</p>