http://indoor-ir-heat.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Efficient Indoor IR Heating Hugo ja Thu, 09 Jul 2026 03:43:05 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Thu, 09 Jul 2026 03:43:05 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://indoor-ir-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハツール用温度センサー"></p> <p>高負荷ウェーハ処理装置における致命的な故障の防止<br> 一度だけライトが消えてしまうと、その瞬間に全体の処理が危険にさらされますよね？高負荷のウェーハ処理では、ライトが壊れるだけでなく、チャンバー内に汚染物質が混入し、全体的な処理がダメになってしまいます。<br> 私たちは、このような悲劇が起こる前にそれを防ぐための赤外線ライトシステムを開発しました。これにより、装置は正常に動き続け、ウェーハも清潔な状態を保ちます。</p>