MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター

MEMSウェーハを効果的に乾燥させる方法 もし、MEMSセンサーのウェーハの処理を経験したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。わずかな水分や、乾燥時の過度な機械的ストレスがあるだけで、全てのウェーハが台無しになってしまいます。熱が必要ですが、正確に制御する必要があります。 だからこそ、私...