http://indoor-ir-heat.com/ja/tags/%E8%B2%BB%E7%94%A8/ Recent content in 費用 on Efficient Indoor IR Heating Hugo ja Sun, 31 May 2026 04:55:55 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ja/posts/cost-of-infrared-wafer-heater-lamp/ Sun, 31 May 2026 04:55:55 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ja/posts/cost-of-infrared-wafer-heater-lamp/ <p><img src="http://indoor-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="赤外線ウェーハヒータランプのコスト"></p> <p>リソグラフィ工程では、時間を分単位で測るのではなく、歩留まりで測る。ウェハーがトラックに載り、レジストが塗布され、ソフトベイクはライン幅変動を規格内に収めるために、非常に厳密な時間枠内で目標通りに行う必要がある。焼成プロファイルがひとたびずれたり、ホットスポットが発生したりすると、ラインが徐々にずれ始める。熱予算においてやり直しはできない。</p>