http://indoor-ir-heat.com/ja/tags/%E5%AE%89%E5%85%A8%E6%80%A7/ Recent content in 安全性 on Efficient Indoor IR Heating Hugo ja Mon, 27 Jul 2026 08:59:02 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ja/posts/managing-thermal-radiation-and-safety-distances-in-wafer-heating-systems/ Mon, 27 Jul 2026 08:59:02 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ja/posts/managing-thermal-radiation-and-safety-distances-in-wafer-heating-systems/ <p><img src="http://indoor-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハ加熱時の安全距離"></p> <h1 id="セル室の壁面を加熱するのはやめようウェーハを効率的に加熱する方法">セル室の壁面を加熱するのはやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法</h1> <p>半導体ウェーハを加熱するとき、重要なのは、エネルギーが基板上に届くことです。装置の外殻にエネルギーが当たってはいけません。 問題は、一般的なIRランプでは熱が360度全方位に放散されるため、制御が難しいという点です。狭い空間で作業する場合、セル室の内壁がその余分な熱を吸収してしまいます。これは大変な問題です。やがて、シール部品が損傷したり、さらに悪いことに、機械の外側があまりにも高温になって操作者が火傷する<a href="https://o-yate.com">危険</a>もあります。</p>