http://indoor-ir-heat.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F/ Recent content in ウエハ on Efficient Indoor IR Heating Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 06:27:47 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ja/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ Sun, 21 Jun 2026 06:27:47 +0800 http://indoor-ir-heat.com/ja/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ <p><img src="http://indoor-ir-heat.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウエハ用赤外線石英ランプ"></p> <p>製造現場では、焼成温度が0.5℃だけ変動しても、フォトレジストの特性が「規格内」から廃棄対象になってしまうことをすぐに理解する<a href="https://henruite.com">必要</a>があります。赤外線石英ランプは単なる<a href="https://o-yate.net">熱源</a>ではなく、リソグラフィーやフォトレジスト処理において重要な役割を果たします。私たちは、ウェーハ全体で±0.1℃の精度を保ち、重要な寸法が規定範囲内に収まるように、このランプを設計しています。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 短波長の赤外線石英ランプは、迅速にエネルギーを供給し、フォトレジストに効果的に作用させる一方で、下層の膜を傷めないようにします。反射器も一体化されており、フィラメントの形状も適切に設計されているため、再現性の高いパターンが得られます。これにより、ソフトベイクやハードベイクの際でも、±0.5％以内の安定性が保たれます。</p>