ウエハ用赤外線石英ランプ

製造現場では、焼成温度が0.5℃だけ変動しても、フォトレジストの特性が「規格内」から廃棄対象になってしまうことをすぐに理解する必要があります。赤外線石英ランプは単なる熱源ではなく、リソグラフィーやフォトレジスト処理において重要な役割を果たします。私たちは、ウェーハ全体で±0.1℃の精度を保ち、重要...