Riscaldatore AFM (Microscopio a Forza Atomica)

Mon, 01 Jun 2026 20:29:51 +0800

Sulla linea di produzione, Soft Bake e l’asciugatura del wafer sono fasi che non tollerano deviazioni. Una variazione di 1°C può modificare dimensioni critiche, e l’umidità trattenuta porta direttamente a difetti. Abbiamo progettato il riscaldatore AFM per rimanere all’interno del budget termico richiesto dai processi avanzati di lavorazione dei wafer, costantemente.

Cosa conta nel dettaglio
Abbiamo scelto l’infrarosso a onda corta in un involucro di quarzo, per garantire una risposta rapida e stabilità. L’uniformità a livello wafer resta entro ±0,1°C nella zona di cottura, e la ripetibilità del setpoint si mantiene entro ±0,2°C da ciclo a ciclo. Il package è adatto a camere bianche, da Class 1 a Class 100, e verifichiamo l’assenza di generazione particellare con monitoraggio in-situ. I dati di campo lo confermano: oltre 5.000 ore di funzionamento, senza fermi non pianificati.

Microscopio on Efficient Indoor IR Heating

Riscaldatore AFM (Microscopio a Forza Atomica)