Emettitore IR alogeno per essiccazione di wafer

Fri, 05 Jun 2026 04:14:33 +0800

Sulla fabbrica

Un singolo segno d’acqua è sufficiente per compromettere un wafer. L’asciugatura standard lascia gradienti termici, e questi gradienti intrappolano l’umidità. Ciò significa che l’adesione del fotoresist viene compromessa e il rendimento ne risente. Abbiamo progettato l’emettitore Halogen IR per eliminare questa variabilità.

Cosa conta realmente sotto il cofano L’emettitore si basa su lampade al quarzo alogena a onde corte, che forniscono IR veloce in linea di vista. Nella zona riscaldata, manteniamo l’uniformità della temperatura entro ±0,1°C, in modo che ogni die ottenga lo stesso budget termico. La geometria del filamento e il riflettore sono calibrati per garantire ripetibilità nella cottura soft e hard, mantenendo stabili i profili critici del fotoresist, ciclo dopo ciclo. L’idoneità per la sala pulita è integrata: materiali a bassa emissione di gas, terminazioni sigillate e una finitura superficiale che mantiene la generazione di particelle a zero. Il sistema funziona 24/7 con un’uscita stabile, e la vita della lampada supporta oltre 5.000 ore con una minima deriva di output.

Alogeno on Efficient Indoor IR Heating

Emettitore IR alogeno per essiccazione di wafer

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