अपने चैंबर की दीवारों को गर्म न करें: वेफरों को गर्म करने का बेहतर तरीका
जब आप सेमीकंडक्टर वेफरों को गर्म कर रहे होते हैं, तो आप चाहते हैं कि ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़े… न कि मशीन के आसपास की दीवारों पर।
समस्या यह है कि सामान्य आईआर लैंप, ऊर्जा को हर दिशा में, 360 डिग्री में ही फैला देते हैं। ऐसी स्थिति में, चैंबर की दीवारें उस अतिरिक्त ऊर्जा को अवशोषित कर लेती हैं… यह बहुत ही खतरनाक है। इससे मशीन के सील खराब हो सकते हैं, या ऑपरेटर को चोट भी लग सकती है… क्योंकि मशीन का बाहरी हिस्सा बहुत ही गर्म हो जाता है।
हम इस समस्या को कैसे हल करते हैं?
हम आईआर तकनीक का उपयोग करके ऊर्जा को निर्दिष्ट दिशा में ही भेजते हैं। हम सामान्य क्वार्ट्ज आवरणों के बजाय विशेष प्रकार की परतों/परावर्तकों का उपयोग करते हैं… ताकि ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़े।
इससे ऊर्जा का प्रवाह सीमित हो जाता है… और ऊर्जा मशीन की दीवारों में नहीं जा पाती।
लेकिन दूरी का सही होना आवश्यक है… यह लैंप की शक्ति एवं परावर्तक की स्थिति के बीच संतुलन है। यदि लैंप बहुत निकट हो, तो गर्म बिंदु बन जाते हैं… और यदि लैंप बहुत दूर हो, तो ऊर्जा फिर से दीवारों में चली जाती है।
संतुलन की समस्याएँ… (क्योंकि कुछ भी परफेक्ट नहीं है)
दिशात्मक ऊष्मा-प्रदान करना कोई जादुई तरीका नहीं है… जबकि दीवारें ठंडी रहती हैं, वेफर पर बहुत ही अधिक ऊष्मा पड़ती है।
इसलिए, आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपके PID कंट्रोलर, इतनी तेज ऊष्मा-प्रवाह को संभाल सकें। यदि आपकी शीतलन प्रणाली इस तेज ऊष्मा-प्रवाह को संभालने में असमर्थ है, तो आपका लक्षित तापमान प्राप्त नहीं होगा।
यदि आप सबसे अच्छे परिणाम चाहते हैं, तो सोने से ढके परावर्तकों का ही उपयोग करें… ऐसे परावर्तक छोटी तरंगदैर्घ्य वाली ऊर्जा को अच्छी तरह परावर्तित करते हैं… और ऊर्जा को सही दिशा में ही भेजते हैं।
ध्यान रखें… जितनी अधिक शक्ति होगी, उतना ही सही संतुलन आवश्यक है… कुछ मिलीमीटर की गलती से ही ऊर्जा वेफर से हटकर मशीन के आंतरिक भागों में चली जा सकती है… और यह ऐसी गलती है जिसे आप केवल एक बार ही कर सकते हैं।