נורת אינפרא אדום לחימום האינטרפוזר

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.1 מעלות צלזיוס בזמן חימום האינטרפוזר יכול לפגוע בשליטה בממדים החשובים של המוצר, ולגרום לבזבוז של חומרי פוטורזיסט. עוד...