Lampe infrarouge de chauffage intermédiaire

Tue, 30 Jun 2026 05:15:05 +0800

Sur le plan de la lithographie, une déviation de 0,1 °C lors du chauffage de l’interposeur suffit pour perturber le contrôle des dimensions critiques et rendre inutile l’utilisation du photo-résiste. Plus de puissance n’est pas la solution. Ce qu’il faut, c’est une chaleur que l’on puisse contrôler, et sur laquelle on puisse compter, de parc en parc.

Ce qui est important dans ce système Nous avons conçu cette lampe infrarouge pour chauffer l’interposeur, en utilisant des émetteurs à ondes courtes situés dans un enveloppe en quartz. Cela permet une transmission d’énergie rapide et efficace. La puissance maximale est adaptée aux caractéristiques de l’enveloppe de l’appareil, avec une réponse rapide et une stabilité de température de ±0,1 °C sur toute la surface de l’interposeur. Ce design permet de minimiser les retards thermiques, afin que les paramètres de chauffage changent sans excès. L’uniformité est également assurée par des mesures précises, plutôt que par des estimations approximatives.

Interposer on Efficient Indoor IR Heating

Lampe infrarouge de chauffage intermédiaire