Émetteur IR halogène pour le séchage des plaquettes

Fri, 05 Jun 2026 04:14:33 +0800

Sur le sol de fabrication

Une seule marque d’eau suffit à détruire une plaquette. Le séchage standard laisse des gradients thermiques, et ces gradients piègent l’humidité. Cela signifie que l’adhésion du photoresist échoue et que le rendement en pâtit. Nous avons conçu l’émetteur Halogen IR pour éliminer cette variabilité.

Ce qui compte réellement sous le capot L’émetteur repose sur des lampes halogènes en quartz à ondes courtes, délivrant un IR rapide et en ligne de vue. À travers la zone chauffée, nous maintenons l’uniformité de température dans une plage de ±0,1°C, de sorte que chaque puce reçoit le même budget thermique. La géométrie du filament et le réflecteur sont ajustés pour garantir la répétabilité lors des cuissons douces et dures, maintenant des profils de photoresist critiques stables, d’une exécution à l’autre. L’adéquation à la salle blanche est intégrée : matériaux à faible dégazage, terminaisons scellées, et une finition de surface qui maintient la génération de particules à zéro. Le système fonctionne 24/7 avec une sortie stable, et la durée de vie des lampes supporte plus de 5 000 heures avec un dérive de sortie minimale.

Halogène on Efficient Indoor IR Heating

Émetteur IR halogène pour le séchage des plaquettes

Sur le sol de fabrication