دیگر نیازی نیست دیوارههای محفظه را گرم کنید؛ روش بهتری برای گرم کردن ویفرها وجود دارد.
هنگام گرم کردن ویفرهای نیمههادی، میخواهیم که انرژی صرفاً به سمت سطح ویفر برود؛ نه به سمت بدنه دستگاه.
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز استاندارد، انرژی را در تمام جهات، یعنی ۳۶۰ درجه، پخش میکنند. در چنین شرایطی، دیوارههای داخلی محفظه، تمام انرژی اضافی را جذب میکنند؛ این کار باعث ایجاد مشکلات زیادی میشود. در نهایت، ممکن است سیلهای موجود در دستگاه آسیب ببینند، یا حتی اپراتور در اثر گرمای بیش از حد دستگاه، آسیب ببیند.
چگونه این مشکل را حل میکنیم؟
ما از فناوری مادون قرمز برای هدایت انرژی استفاده میکنیم. به جای استفاده از پوششهای شیشهای ساده، از لایههای ویژه یا منعکسکنندههایی استفاده میکنیم تا انرژی مادون قرمز را دقیقاً به سمت ویفر هدایت کنیم.
این کار باعث میشود که پرتو انرژی محدود شود؛ در نتیجه، انرژی گرما دیگر به سمت بدنه دستگاه نخواهد رفت.
اما باید فاصله منعکسکننده را به درستی تنظیم کرد؛ این کار نیازمند تعادلی میان توان لامپ و محل تمرکز انرژی است. اگر لامپ را خیلی نزدیک کنیم، نقاط گرم ایجاد خواهد شد؛ اما اگر آن را خیلی دور کنیم، انرژی دوباره به سمت دیوارههای داخلی دستگاه خواهد رفت.
معایب این روش (چون هیچ چیز کامل نیست)
گرم کردن هدایتشده، روش جادویی نیست؛ در حالی که دیوارههای دستگاه خنک میمانند، بار حرارتی بیشتری بر روی سطح ویفر وارد میشود.
بنابراین، باید اطمینان حاصل کنید که کنترلرهای PID بتوانند با این نرخهای تغییر دما کنار بیایند. اگر سیستم خنککننده دستگاه برای مقابله با این میزان انرژی مناسب نباشد، دمای ویفر از حد مورد نظر فراتر خواهد رفت.
اگر میخواهید بهترین نتایج را داشته باشید، از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده کنید؛ زیرا آنها در بازتاب انرژی در طول موجهای کوتاه عالی عمل میکنند و انرژی را در مسیر صحیح نگه میدارند.
فقط یک نکته: هرچه توان لامپ بیشتر باشد، باید بیشتر روی تنظیم موقعیت آن تمرکز کرد؛ چند میلیمتر اختلاف، میتواند باعث شود که انرژی از روی ویفر خارج شده و به سمت قطعات داخلی دستگاه برود. این اشتباهی است که فقط یک بار میتوان رخ داد.