Emisor IR de halógeno para el secado de obleas.

Fri, 05 Jun 2026 04:14:33 +0800

En la planta de fabricación, una sola marca de agua es suficiente para dañar un wafer. El secado estándar deja gradientes térmicos, y esos gradientes atrapan la humedad. Eso significa que la adhesión del fotoresist se ve afectada y el rendimiento disminuye. Construimos el emisor de Halógeno IR para eliminar esa variabilidad.

Lo que realmente importa bajo el capó
El emisor se basa en lámparas de cuarzo halógeno de onda corta, que proporcionan IR rápido en línea de visión. En la zona calentada, mantenemos la uniformidad de temperatura dentro de ±0.1°C, de modo que cada dado recibe el mismo presupuesto térmico. La geometría del filamento y el reflector están ajustados para la repetibilidad en el suave y duro horneado, manteniendo estables los perfiles críticos del fotoresist, una y otra vez. La adaptación a sala limpia está incorporada: materiales de baja emisión de gases, terminaciones selladas y un acabado superficial que mantiene la generación de partículas en cero. El sistema opera 24/7 con salida estable, y la vida útil de la lámpara soporta más de 5,000 horas con un mínimo de desvío en la salida.

Halógeno on Efficient Indoor IR Heating

Emisor IR de halógeno para el secado de obleas.