http://indoor-ir-heat.com/de/tags/wafel/ Recent content in Wafel on Efficient Indoor IR Heating Hugo de Sun, 21 Jun 2026 06:27:47 +0800 http://indoor-ir-heat.com/de/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ Sun, 21 Jun 2026 06:27:47 +0800 http://indoor-ir-heat.com/de/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ <p><img src="http://indoor-ir-heat.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Infrarot Quarzlampe für Wafer"></p> <p>In der Produktionsstätte lernt man schnell, dass bereits eine Abweichung von 0,5 °C bei der Backtemperatur ausreichen kann, um ein Photoresist-Material von „in Ordnung“ in nutzlosen Müll zu verwandeln. Infrarotquarzlampen sind nicht nur Wärmequellen – sie bilden außerdem die Grundlage für die Präzision bei der Lithografie und beim Bearbeiten des Photoresists. Wir konstruieren diese Lampen so, dass eine Temperaturregulierung auf Wauchenebene möglich ist – dadurch bleibt die Temperatur über dem Substrat konstant bei ±0,1 °C, sodass die kritischen Abmessungen innerhalb der zulässigen Grenzen bleiben.</p>