চেম্বারের দেয়ালগুলোকে গরম করা বন্ধ করুন: ওয়েফারগুলোকে উষ্ণ করার আরও ভালো উপায়
যখন আপনি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলোকে উষ্ণ করেন, তখন আপনি চান যে শক্তিটি সরাসরি ওয়েফারের উপর পড়ুক। আপনি চান না যে এই শক্তিটি যন্ত্রের বাহ্যিক অংশে পড়ুক।
সমস্যা হলো, সাধারণ IR ল্যাম্পগুলো থেকে উষ্ণতা ৩৬০ ডিগ্রি জুড়ে ছড়িয়ে যায়। যখন আপনি সংকীর্ণ জায়গায় কাজ করেন, তখন চেম্বারের দেয়ালগুলো সেই অপ্রয়োজনীয় উষ্ণতাগুলো শোষণ করে নেয়। এটা খুবই সমস্যাজনক। ফলে যন্ত্রের বাহ্যিক অংশগুলো খুবই গরম হয়ে যায়; এতে অপারেটররা পোড়ার ঝুঁকিতে পড়েন।
আমরা কীভাবে এই সমস্যার সমাধান করি?
আমরা IR প্রযুক্তি ব্যবহার করে এই সমস্যার সমাধান করি। কেবলমাত্র স্বচ্ছ কোয়ার্টজ ব্যবহার না করে, আমরা বিশেষ ধরনের কোটিং বা রিফ্লেক্টর ব্যবহার করি; এর ফলে ইনফ্রারেড শক্তিটি ঠিক ওয়েফারের দিকেই যায়।
এর ফলে উষ্ণতা কমে যায়। কিন্তু দূরত্বটি ঠিক রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। ল্যাম্পের ওয়াটেজ ও রিফ্লেক্টরের অবস্থানের মধ্যে ভারসাম্য বজায় রাখতে হয়। যদি ল্যাম্পটিকে খুব কাছে রাখা হয়, তাহলে গরম অঞ্চল তৈরি হয়। আর যদি ল্যাম্পটিকে খুব দূরে রাখা হয়, তাহলে উষ্ণতা আবার দেয়ালগুলোর মধ্যে চলে যায়।
কিছু সীমাবদ্ধতা…
ডাইরেকশনাল হিটিং কোনো জাদুর ছড়ি নয়। যখন দেয়ালগুলো ঠান্ডা থাকে, তখন ওয়েফারের উপর অতিরিক্ত উষ্ণতা চাপ পড়ে।
এর জন্য আপনার PID কন্ট্রোলারগুলোকে দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে হবে। যদি আপনার কুলিং সিস্টেমটি এই অতিরিক্ত শক্তি সামলানোর জন্য যথেষ্ট না হয়, তাহলে আপনার লক্ষ্যমাত্রা অতিক্রম হয়ে যাবে।
সর্বোত্তম ফলাফল পেতে গোল্ড-কোটেড রিফ্লেক্টর ব্যবহার করুন। এগুলো শর্ট-ওয়েভ স্পেকট্রামে অসাধারণ রিফ্লেক্টিভিটি রাখে এবং উষ্ণতাকে ঠিক ওয়েফারের দিকেই রাখে।
শুধু মনে রাখবেন: ওয়াটেজ যত বেশি হবে, অ্যালাইনমেন্ট নিয়ন্ত্রণ করা ততই কঠিন হবে। কয়েক মিলিমিটারের ভুলও উষ্ণতাকে ওয়েফার থেকে অন্যদিকে নিয়ে যেতে পারে। এটা এমন একটি ভুল যা আপনি শুধুমাত্র একবারই করতে পারেন।