Đèn sưởi kiểm tra đốt cháy wafer

Trên dây chuyền, lò burn-in hoạt động liên tục. Các wafer xếp hàng chịu nhiệt ứng suất, sau đó chuyển tiếp. Nếu đèn sưởi chập chờn, toàn bộ trạm sẽ...