لیتھوگرافی کے عمل میں، انٹرپوزر کو گرم کرتے وقت صرف 0.1°C کی تبدیلی بھی اہم پیمائشوں کو خراب کرنے کے لئے کافی ہے؛ اس سے فوٹوریزسٹ بیکار ہو جاتا ہے۔ زیادہ توانائی استعمال کرنا حل نہیں ہے۔ دراصل، ضرورت ایسی حرارت کی ہے جس پر قابو پایا جاسکے، اور جس پر بار بار اعتماد کیا جاسکے۔
جو چیزیں اہم ہیں…
ہم نے انٹرپوزر کو گرم کرنے والے لیمپوں کو کوارٹز کے خول میں رکھا ہے، تاکہ توانائی کی منتقلی صحیح طریقے سے ہو سکے۔ لیمپ کی زیادہ سے زیادہ طاقت، آلے کے خول کے مطابق ہے؛ اس کے علاوہ، درجہ حرارت میں استحکام ±0.1°C تک ہے۔ اس ڈیزائن کی بدولت حرارتی تاخیر کم رہتی ہے، لہذا سیٹپوائنٹ میں تبدیلی بغیر کسی غلطی کے ہوتی ہے۔ یکسانیت کو برقرار رکھنے کے لئے خصوصی اقدامات کئے گئے ہیں، نہ کہ صرف قیاسات پر انحصار کیا گیا ہے۔
ویفر-لیول پروسیسنگ میں اس کی اہمیت…
پروسیسنگ کے دوران وقت بہت محدود ہوتا ہے۔ یہ لیمپ، فوٹوریزسٹ کو مناسب طریقے سے گرم کرنے میں مدد کرتا ہے، اور اس کی کارکردگی بار بار برقرار رہتی ہے۔ کلین روم کے معیارات کو برقرار رکھنے کے لئے مواد اور ہوا کے بہاؤ کی منصوبہ بندی کی گئی ہے، تاکہ ذرات کی تعداد کم رہے۔ توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ لیمپ بجلی کو موثر طریقے سے حرارت میں تبدیل کرتا ہے؛ اس کے علاوہ، حرارتی ماس بھی کم ہے، لہذا بیکار توانائی کی کھپت بھی کم رہتی ہے۔ لیمپ 24/7 چلتا رہتا ہے، لہذا پروسیسنگ کا وقت بڑھ جاتا ہے، اور کوئی غیرمتوقع خرابی نہیں ہوتی۔
عملی تفصیلات…
لیمپ کی تنصیب کے لئے ضروری ہے کہ آلے کے حرارتی بجٹ اور فیلڈ-آف-ویو کا خیال رکھا جائے۔ جب لیمپ کو انٹرپوزر کے راستے کے ساتھ درست طریقے سے رکھا جاتا ہے، اور مطلوبہ سینسر اور کنٹرولر کے ساتھ استعمال کیا جاتا ہے، تو بہترین کارکردگی حاصل ہوتی ہے۔ PID کو ایڈجسٹ کرنے اور سبسٹریٹ کی اندرونی ساخت کو جاننے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔
جب لیمپ کیلیبریٹ ہو جاتا ہے، تو پروسیس بار بار دہرایا جاسکتا ہے۔ لیکن اصل استحکام تو ابتدائی تنصیب کے دوران ہی حاصل ہوتا ہے۔