Припиніть чекати, поки тележки для обробки в чистих приміщеннях нагріються
Якщо ви коли-небудь працювали з напівпровідниковими матеріалами, ви знаєте, як це дратує – постійне очікування. У вас є пластини чи носії, які потрібно нагріти до певної температури перед тим, як перейти до наступного етапу обробки. Але саме під час транспортування все уповільнюється.
Більшість закладів, які я відвідував, все ще використовують системи нагріву за допомогою гарячого повітря. Це старий спосіб. Але проблема в тому, що такий спосіб є дуже повільним. Ви просто чекаєте, поки повітря нагріється, а потім ще чекаєте, поки це повітря проникне в поверхню об’єкта обробки. Це марнує час, якого у вас немає.
Рішення – інфрачервоне нагрівання
Інфрачервоне нагрівання не пов’язане з повітрям. Енергія подається безпосередньо на поверхню об’єкта обробки. Уявіть різницю між тим, коли ви намагаєтесь зігріти руки, стоячи в теплій кімнаті, та коли тримаєте їх прямо перед вогнем. Саме так відбувається на тележках для обробки в чистих приміщеннях – тепло потрапляє на поверхню носіїв майже миттєво. Ви не марнуєте енергію на нагрівання всієї кімнати лише для того, щоб нагріти кілька пластин.
Якщо процес вимагає нагрівання до 100°C, інфрачервоне нагрівання дозволяє досягти цієї температури за кілька секунд. Це перетворює довге очікування на швидкий процес.
Як ми це реалізуємо
Щоб це спрацювало, ми розміщуємо елементи інфрачервоного випромінювання короткої чи середньої довжини хвилі прямо в конструкцію тележки. Ми підтримуємо високу щільність потужності, щоб вся система не займала занадто багато простору.
Однак потрібно пам’ятати, що інфрачервоне випромінювання діє дуже швидко. Тож необхідно використовувати точний контроль за температурою та сенсори, розташовані дуже близько до об’єкта обробки. Інакше температура може перевищити необхідний рівень ще до того, як система це помітить.
Як обладнання ми використовуємо елементи, загорнуті в кварц. Вони ідеально підходять для чистих приміщень, оскільки не виділяють частинок чи газів у навколишнє середовище.
Недоліки
Інфрачервоне нагрівання не є чарівним рішенням для всіх ситуацій. Воно діє лише в прямій лінії. Якщо тележка переповнена носіями, ті, що знаходяться спереду, будуть нагріті, а ті, що знаходяться посередині – залишаться холодними. Неможливо просто замінити вентилятор на лампу та вважати, що все гаразд.
Потрібно ретельно продумати розташування ламп. Іноді це означає використання відбивних елементів для передачі тепла в ті зони, де він не потрапляє. Інакше деякі пластини будуть ідеально нагріті, а інші – ледве.